五字熟語

極端紫外線(きょくたんしがいせん)

Extreme ultraviolet rays

   
       

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k/k20214極端紫外線kyokutanshigaisen
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[日本語漢字]

極端紫外線

[日本語ひらがな]

きょくたんしがいせん

[英語]

Extreme ultraviolet rays

[意味]

波長1~10ナノメートル程度の紫外線。波長が短い領域はX線に分類されることもある。短い波長を活かし、半導体の超微細加工を実現する露光技術の研究が進められている。極端紫外線。extreme ultravioletから、EUVまたはXUVともいう。

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